Беларусь (ранее БССР), г. Минск
История
История завода «Планар» начинается 20 октября 1962 года, когда в Минске было создано Конструкторское бюро номер 5 в соответствии с приказом Председателя Государственного комитета СССР по электронной технике.
В 1971 году оно стало головным предприятием вновь созданного научно-производственного объединения «Планар» во главе с КБТЭМ.В его состав вошли крупные машиностроительные заводы: «Эллар», г. Рига (Латвия); «Эвистор», г. Витебск (Беларусь); «Этон», г. Новолукомль и другие предприятия, расположенные в г. Горки и г. Ново-Ржеве.
Главной задачей объединения была разработка оптико-механического, контрольно-измерительного и сборочного оборудования для производства интегральных микросхем. В годы существования СССР на предприятия страны было поставлено более 4000 единиц различных видов оборудования.
В 1973 году на «Планаре» был разработан первый степпер модели ЭМ-542, опередивший конкурентов из других стран, а в 1977 г. начато серийное производство полных автоматов присоединения проволочных выводов модели ЭМ-490Б и зондовых автоматов модели ЭМ-680, использующих 4 координатный линейный шаговый привод. В 1981 году была разработана и серийно освоена новая базовая модель степпера ЭМ-584, использующая новый многокоординатный привод на ЛЩД.
В 1992 году ГНПО «Планар» приступило к производству степперов с разрешающей способностью 0,5 мкм. Данный показатель был достигнут западными производителями только к 2000-м годам, после развития датчиков положения и цифровых процессоров управления.
После распада Советского Союза структура предприятия была преобразована в соответствии с потребностями маркетинга. «Планар» начал самостоятельно продвигать свою продукцию как на российский рынок, так и в дальнее зарубежье — прежде всего в Китай, куда в 1990-е годы поставили более 300 единиц оборудования.
В 2014 году по решению Президента Беларуси был образован научно-производственный холдинг «Планар», в его состав также вошли завод «Электронмаш» и «Оптоэлектронные системы».
Сегодня холдинг «Планар» — один из мировых лидеров точного электронного машиностроения. Он разрабатывает и производит сложнейшее оптико-механическое и контрольно-измерительное оборудование для микроэлектроники, основанное на лазерных технологиях, а также оборудование для фотолитографии и микроскопии.
Продукция
В последние годы специалистами ОАО «Планар» созданы новые модели оборудования для оснащения субмикронных производственных изделий микроэлектроники:
- многоканальные лазерные генераторы изображения ЭМ‑5189, ЭМ‑5189‑1, ЭМ‑5289, ЭМ‑5396;
- установки автоматического контроля фотошаблонов ЭМ‑6029Б, ЭМ‑6329, ЭМ‑6729;
- оборудование для лазерного устранения дефектов ЭМ-5001Б, ЭМ-5131;
- широкоформатный степпер ЭМ-5434М;
- установки зондового контроля ЭМ‑6520, ЭМ‑6190А, ЭМ‑6290;
- оборудование для механического утонения пластин ЭМ‑2060, ЭМ‑2070, ЭМ‑2080;
- оборудование резки пластин на кристаллы ЭМ-2085В, ЭМ-2115 ЭМ-225М;
- установки монтажа кристаллов ЭМ-4485, ЭМ-4585;
- Установка монтажа кристаллов методом FlipChip ЭМ‑4336;
- оборудование присоединения выводов ЭМ-4370, ЭМ‑4320(‑1,2,3,4), ЭМ‑4320У, ЭМ‑4020ПМ, ЭМ‑4340А1;
- посты микроконтроля МК‑1, МК‑3, МК‑АМ.