1989 г., СССР,
г. Рига, Завод «Эллар»

Назначение

Полуавтомат предназначен для скрайбирования полупроводниковых пластин диаметром до 80 мм и ситаловых подложек с размерами до 60х48 мм двумя резцами на элементы прямоугольной формы.

История

Полуавтоматы «Алмаз» и «Алмаз М» выпускались на заводе «Эллар» в городе Рига Латвийской СССР в 1970-е и 1980-е годы.

В научно-популярном журнал в Латвийской ССР — «Зинатне ун Техника» от 01.10.1972 была опубликована фотография полуавтомата Алмаз с подписью:

Rīgas mašīnbūves rūpnīcā izstrādātā automatizētā precīzijas iekārta «Almaz» ātrai silīcija un germānija pusvadītāju plātnīšu skraibēšanai taisnstūra formas elementos.

Перевод: Рижский машиностроительным заводом разработан автоматизированный прецизионный аппарат «Алмаз» для быстрого скрайбирования полупроводниковых пластин из германия и кремния на элементы прямоугольной формы.

Технические характеристики:

• Максимальная величина хода подачи 85 мм/с
• Величина хода скрайбирования от 20 до 100 мм
• Шаг скрайбирования от 0,01 до 9,99 двумя резцами (дискретность 0,01 мм)
  от 0,02 до 19,98 двумя резцами (дискретность 0,02 мм)
  от 0,04 до 39,96 одним резцом (дискретность 0,04 мм)
• Усилие нагружения резца 0,1-2,5 Н (от 10 до 250 гс)
• Скорость подачи, не менее 4 мм/сек
• Максимальная электрическая мощность не более 0,25 кВА
• Масса не более 114 кг.

Конструкция и принцип работы

Принцип работы полуавтомата заключается в последовательном автоматическом скрайбировании и точном перемещении пластин на заданный шаг в одном направлении, а после поворота предметного столика на 90 гр. в другом направлении с другим заданным шагом.

Полуавтомат Алмаз-М состоит из основания, на котором установлены:

• привод шагового перемещения,
• механизм привода скрайбирования
• привод резцовой головки
• резцовая головка
• столик предметный
• кожухи
• пульт управления
• блок управления
• микроскоп-проектор (вместе с блоком подсветки, планкой и козырьком)

Привод шагового перемещения осуществляет перемещение предметного столика со скрайбируемой пластиной в направлении оси «Х» с высокой степенью точности. Привод состоит из каретки, перемещающейся по призматическим направляющим.

Головка резцовая предназначена для закрепления одного или двух резцов и позволяет выполнять ряд операций.

• Подъем каждого резца электромагнитом при нерабочем ходе для этого резца, возврат — пружинный.
• Регулировку резцов по высоте
• Регулировку нагружения резцов
• Регулировку положения резцов в направлении оси «Х» для совмещения линий обоих резцов
• Контроль с помощью контактной группы момента касания резцами пластин

Микроскоп-проектор крепится на каретке, относительно которой он может смещаться в продольном направлении.
Поперечное перемещение каретки осуществляется ручкой по направляющим крестовины. Вертикальное перемещение проектора осуществляется другой ручкой, при вращении которой ползунок перемещается по направляющим.

Убедиться, что шаг, установленный на программаторе, над которым в данный момент горит лампочка соответствует шагу между структурами на пластине по оси «Х», а по оси «Y» шаг должен соответствовать шагу второго программатора (из тех.описания)

Электрооборудование

Электрооборудование полуавтомата состоит из:

• Блока управления 3.599.003
• Блока подсветки проектора 3.508.019
• Панели управления 4.130.014
• Шагового двигателя ЩДР-721, двигателя скрайбирования РЖ-09А, электромагнитов резцов, датчика и концевых переключателей

Панель управления

На лицевой панели управления расположены:

• Функциональный переключатель В4 устанавливаемый в положениях:
  — Автомат — в данном положении полуавтомат работает автоматически, включаясь в работу с помощью кнопки «Пуск».
  — Шаг — положение для шаговой подачи предметного столика. Величина шага задается программаторами в направлении, соответствующем положению переключателя «-х-«.
  — Быстро — положение для подачи предметного столика на расстояние, равному увеличенному в «n» раз шагу, заданному программатором. Подача предметного столика осуществляется непрерывно с управлением переключателем «-х-«.
  — Медленно — это положение используется для совмещения зоны скрайбирования на пластине с перекрестием экрана микроскопа-проектора. Скорость подачи столика — 0,08 мм/сек. Шаг 10 микрон, величина хода столика не зависит от шага, заданного программатором.
• Переключатель «Пуск» — включает полуавтомат, когда переключатель В4 находится в положении «Автомат». Направление включения переключателя «Пуск» определяет направление подачи стола.
• Кнопка «Стоп» — действует, когда переключатель В4 находится в положении «Автомат». При нажатии на кнопку — прибор прекращает работу.
• Переключатель «-х-» — переключателем следует оперировать при установленном переключателе В4 в положения «Шаг», «Быстро» или «Медленно», когда требуется осуществить движение столика в направлении оси «Х». При этом резцовая головка должна быть в одном из крайних положений.
• Кнопка «Скрайбирование» — этой кнопкой осуществляется ручное скрайбирование при положении функционального переключателя В4 в любом наладочном режиме (кроме автоматического). Этих кнопок две: слева и справа пульта управления.

Литература

• Техническое описание Полуавтомат скрайбирования Алмаз М Б6М3.104.003 ТО
• Материалы сайта forum.myriga.info