Музей микроэлектроники

Санкт-Петербург, ул. Бобруйская, 7

Log In
Sign Up

Экспонаты — Технологическое оборудование

Установки для фотолитографии

Установка экспонирования 830-03
На рисунке установка экспонирования и совмещения.
Установка совмещения и экспонирования ЭМ-576
Установка совмещения и
экспонирования ЭМ-5026.

Зондовые установки

Автомат Зонд-А5.

Установки микросварки

Установка микросварки У-153
Установка ультразвуковой сварки УС.ИММ-1

Установки скрайбирования

Полуавтомат алмазной резки
пластин ЭМ-225
Полуавтомат скрайбирования
Алмаз М.

Установки присоединения кристаллов

Автомат присоединения
кристаллов ЭМ-4105-1

Вакуумное оборудование

Насос паромасляный Н-10-2